Katedra fyziky materiálů Matematicko-fyzikální fakulta Univerzity Karlovy
Navigace

SEM – Skenovací elektronová mikroskopie

Skenovací elektronová mikroskopie je v dnešní době standardní metodou užívanou při studiu struktury materiálů. V laboratoři SEM máme dva mikroskopy umožňující využití široké škály analytických metod. Jeden z mikroskopů je navíc vybaven fokusovaným iontovým svazkem (FIB), pomocí nějž můžeme obrábět vzorky s přesností desítek nanometrů.

Oba mikroskopy jsou vybaveny autoemisní katodou (FEG), která poskytuje nejlepší dosažitelnou kvalitu elektronového svazku. Samozřejmostí jsou standardní detektory sekundárních a zpětně odražených elektronů.

Mikroskopy jsou vybaveny energiově disperzními detektory rentgenového záření (EDS) pro určování chemického složení vzorků a kamerami pro vyhodnocování difrakce zpětně odražených elektronů (EBSD) pro určování krystalografické orientace.

FEI Quanta 200F

Pro základní použití studenty od bakalářského studia a při výuce. Krom všech výše popsaných detektorů je tento mikroskop vybaven vlnově disperzním detektorem charakteristického rentgenového záření (WDS) umožňujícím velmi přesnou analýzu chemického složení. Mikroskop dále disponuje speciálním módem pro pozorování při sníženém vakuu, který umožňuje studium nevodivých vzorků (včetně biologických) bez jakékoliv úpravy.

SEM Quanta 200F FEI

Zeiss Auriga Compact

Mikroskop určený pro pokročilejší analýzy. Je vybaven fokusovaným iontovým svazkem (FIB), který umožňuje obrábění vzorků s vysokou přesností. To nám umožňuje studium vzorků ve 3D (pomocí opakovaného slešťování a analyzování odkrytých vrstev materiálu) s přesností desítek nanometrů nebo výrobu vzorků pro TEM z definovaných míst o finální tloušťce pod 100 nm. Tento mikroskop je navíc vybaven deformačním a ohřívacím stolkem, který umožňuje studium chování materiálů in-situ při deformaci a/nebo za zvýšených teplot.

SEM + FIB Auriga Comopact Zeiss Deformační stolek EBSD měření

© 2009 KFM MFF UK :: přihlásit se

xhtml, css, rss, design :: Atelier GINGO